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關于冷凝泵的內部構造分析

點擊次數:23 發布時間:2022-05-07
  冷凝泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵,廣泛應用于半導體和集成電路的研究和生產,以及分子束研究、真空鍍膜設備、真空表面分析儀器、離子注入機和空間模擬裝置等方面。因其潔凈無污染、效率高、抽速大、高可靠性等突出優勢,被廣泛的應用于科學研究實驗室、乃至工業生產等眾多領域,如半導體材料制作、平板顯示器生產/測試設備、太陽能制造業、真空鍍膜、熱真空系統等。
 
  冷凝泵作用:
 
  1、主要供火力發電廠輸送冷凝水之用,亦可用來輸送與冷凝水性質類似的介質。
 
  2、冷凝水:也稱為凝結水,產生于發電機組中的凝汽器中。
 
  冷凝泵的內部構造:
 
  1、導流板
 
  主要用來凝縮排除水蒸氣(H2O)、有機物(CO2)等的氣體分子,并用來防止熱輻射直接進入輻射罩。
 
  2、輻射罩
 
  輻射罩包裹著冷頭,是為了阻擋外來的熱輻射。外側為了反射熱輻射,實施了反射率很高的鎳噴涂,內側為了阻擋熱輻射反射到冷板,實施了能吸收輻射能的黑化處理涂層。
 
  3、冷板
 
  冷板從功能上分為外表面冷凝排除氣體部分和內表面活性炭吸附排除氣體部分。O2、N2、Ar等凝縮性氣體分子的絕大部分被擋在冷板外表面,并在其表面凝縮,而到達其內表面活性炭的氣體分子則極少。H2分子在冷板外表面不被凝縮而被反射,從而,被位與其內表面的活性炭所吸附。
 
  4、溫度計
 
  結構:①H2蒸汽壓溫度計:依據H2在不同溫度時其飽和蒸汽壓不同來進行測量轉換(目前一般采用此種形式);②半導體溫度計:熱敏二極管。
 
  5、一級冷頭
 
  主要用來凝縮水蒸汽。
 
  6、二級冷頭
 
  主要用來凝縮N2、O2、Ar、CO2等飽和蒸汽壓高的氣體。
 
  7、冷凍機
 
  目前,冷凝泵中所使用的冷凍機有:①G-M循環冷凍機;②ModifiedSolvay循環冷凍機;③Sterling循環冷凍機。
 
  8、活塞連桿
 
  9、蓄冷器

 


 
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